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惠州蚀刻液回用及提铜服务厂家电话

更新时间:2025-08-13      点击次数:5

半导体装置、TFT-LED、OLED等微电路是通过在基板上形成的铝、铝合金、铜及铜合金等导电性金属膜或二氧化硅膜、氮化硅薄膜等绝缘膜上,均匀地涂抹光刻胶,然后通过刻有图案的薄膜,进行光照后成像,使所需的图案光刻胶成像,采用干式蚀刻或湿式蚀刻,在光刻胶下部的金属膜或绝缘膜上显示图案后,剥离去除不需要的光刻胶等一系列的光刻工程而完成的。大型显示器的栅极及数据金属配线所使用的铜合金阻抗低且没有环境问题,铜存在与玻璃基板及绝缘膜的粘附性较低,易扩散为氧化硅膜等问题,所以通常使用钛、钼等作为下部薄膜金属。但是,现有蚀刻液在蚀刻过程中,蚀刻的均一性很难把控,导致蚀刻锥角、蚀刻偏差及蚀刻直线度等特性失去,影响产品质量。蚀刻是一种利用化学强酸腐蚀、机械抛光或电化学电解对物体表面进行处理的技术。惠州蚀刻液回用及提铜服务厂家电话

蚀刻废液的处理法:目前通行的做法是,在各印制板厂内储存起来,放在密封的池子或储罐内等待外单位拉走处理。外单位一般是经当地环保部门审批过有资质的回收公司,他们把废液拉回去后,使用化学方法(中和法、电解法、置换法)回收废液内的铜,或提炼成硫酸铜产品。这些方法,工艺落后,铜回收不彻底,处理的经济效益不明显,有二次污染污染物排放。特别是碱性蚀刻,由于有大量的氨离子存在,一旦处理不当往外排放,势必对水体生态系统造成大的冲击。惠州蚀刻液回用及提铜服务厂家电话蚀刻液能连续再生循环使用,成本低。

酸性蚀刻液再生回用系统,所述酸性蚀刻液再生回用系统包括:蚀刻工位,所述蚀刻工位设有相连通的蚀刻机缸和废液收集桶;电解工位,所述电解工位设有电解装置,所述电极装置包括由隔膜分隔的阳极室和阴极室,所述阴极室连通于所述废液收集桶;以及再生工位,所述再生工位设有相连通的再生子液调配缸和再生子液吸收桶,所述再生子液调配缸连通于所述阴极室,所述再生子液吸收桶连通于所述阳极室和所述蚀刻机缸。本发明的技术方案提升再生液回用率,并且减少再生回用系统中配制再生子液时加入的补加剂量,从而有效地避免了蚀刻液体积膨胀的现象发生。

蝕刻液发展概况:印制线路板产业发展至今,蚀刻工艺过程所使用过的蚀刻液,已经更新至第四代产品。首代产品:盐酸—三氯化铁型蚀刻液,工艺稳定、操作方便、成本低廉,但污染严重、再生困难、废水治理困难,同时蚀刻速度也不快(20~30μm/min),溶铜量也不多(50~60g/L)。第二代产品:硫酸—过硫酸铵型蚀刻液(或铬酸):蚀刻速度和溶铜量都较低,易分解,废液中含首类有害物质。这两代产品现已被淘汰。第三代产品:盐酸—双氧水型蚀刻液:组份简单,双氧水(35%)与盐酸(36%)按1:2的体积比配制、蚀刻速度可达25~30μm/min,溶铜量可达80~110g/L。至今仍有极少数企业在使用它。第四代产品:氯化铜型(酸性、碱性)蚀刻液:自1975年发明以来至今,被普遍使用,(性能特点将在下面将作重点论述)。凡能氧化铜而生成可溶性铜盐的试剂,都可以用来蚀刻敷铜箔板。

蚀刻液回收氯化铵的处理系统,包括中和处理段、压滤段、离子交换处理段、蒸发段和后处理段;中和处理段包括酸性蚀刻液储罐、碱性蚀刻液储罐和用于合成氯化铵的中和反应罐,中和反应罐上设有出料口、与酸性蚀刻液储罐连通的酸液入口和与碱性蚀刻液储罐连通的碱液入口;压滤段包括用于分离出氯化铵溶液的压滤装置,压滤装置上设有进料口和滤液口,进料口与中和反应罐的出料口连通;离子交换处理段包括用于分离氯化铵和铜离子的离子交换柱,离子交换柱呈波浪形,且离子交换柱包括对称设置的首半柱和第二半柱,首半柱和第二半柱可拆卸连接,且首半柱和第二半柱之间密封形成用于存放离子交换树脂的管道,管道的两端分别设有进液口和出液口,进液口与滤液口连通;碱性蚀刻液循环再生回用装置,具有废液暂存槽、三级萃取槽、二级水洗涤槽。惠州蚀刻液回用及提铜服务厂家电话

提高酸性蚀刻液再生回用率的系统,其包括蚀刻产线,电解装置,添加装置。惠州蚀刻液回用及提铜服务厂家电话

用一定数量的敞口式电解槽单元组成一个电化学处理系列,用阴离子膜把每个电解槽单元分隔成阳极区和阴极区两部分,阳极区用钛基涂覆贵金属氧化物的电极材料作为阳极,用钛的三维电极材料作阴极的电解槽单元构成电化学处理系列的前级段,用钛板或者铜板的二维电极材料作阴极的电解槽单元则构成电化学处理系列的后级段。从氯化物体系线路板蚀刻系统进入电化学处理系列的蚀刻液,通过调节槽电压,流量,阴极和阳极的面积比等电化学工艺参数,使得在阳极区发生的电化学反应只是一价铜离子氧化成二价铜离子的反应,在电化学处理系列的前级段阴极区发生的电化学反应是二价铜离子还原成一价铜离子的反应,而在后级段阴极区发生的电化学反应是一价铜离子还原成金属铜的反应,以二价铜计算,该处理工艺的法拉弟直流电效为94%,致密状的金属铜产品含铜大于99%,经电化学处理系列处理后的蚀刻液,降低了其铜离子的含量和提高了二价铜离子的比率,经混合后返回线路板蚀刻系统进行蚀铜操作。惠州蚀刻液回用及提铜服务厂家电话

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